על פי דיווחים בתקשורת הזרה,&# 39 היפנית של ניטרייד מוליכים למחצה פיתחה שבב LED UV באורך גל של 365 ננומטר וטוענת שהוא מקור האור האולטרה-סגול הראשון המשמש במערכות חשיפה למחצה ומוליכים למחצה. .
דווח כי מערכת החשיפה המשמשת בתהליך ייצור המוליכים למחצה עדיין משתמשת במנורות כספיות אולטרה סגולות, שיש לה מגבלות פונקציונליות כמו זמן המתנה ארוך, חיי עבודה קצרים, יציבות נמוכה של אור אולטרה סגול ובקרת מתג לא נוחה. בנוסף, בשל סוגיות זיהום סביבתי, צפוי כי יישום אמנת מינמטה יקדם מקורות אור LED כדי להאיץ את החלפת מקורות האור המכילים כספית.
מוליכים למחצה של ניטריד אמרו כי לשבב ה- NS 365 L-9RXT ה- UV החדש עם אורך גל של 365 nm יש את המאפיינים של יעילות גבוהה, חסכון באנרגיה וחיים ארוכים. בתנאי זרם קדימה אם של 3 A ומתח קדימה של Vf של 4. {{5}} V, כוח יציאת ה- UV הוא 3. 2 W. יחד עם זאת, לד UV זו יש מבנה קומפקטי מאוד, עם מידות של 9 מ"מ (אורך) x 9 מ"מ (רוחב) x 8. 5 מ"מ ( גובה), כך שצפיפות ההרכבה גבוהה יותר.
ל- LED החדש של ה- UV יש זווית פליטה צרה המתאימה לחשיפה למוליכים למחצה. בדרך כלל, על מנת להשיג חשיפה מדויקת בתהליכי ייצור מוליכים למחצה, נדרש אור מקביל. עם זאת, מכיוון שמקור האור ב- LED LED זווית פליטת אור רחבה יחסית (בערך 120 °), כמות האור המתקבלת לחשיפה לרוב אינה מספקת. לכן, על ידי שילוב של מראה עמוקה ועדשת העברה גבוהה, החברה השיגה זווית זוהרת של 15 ° ומטה. זה מראה שאפשר לד נוריות UV להחליף ישירות את מקורות האור UV המשמשים במערכות חשיפה מסורתיות ללא צורך ברכישת מערכות חשיפה חדשות לקרינת UV. (נערך על ידי LEDinside Janice)